1.项目背景：

半导体是电子产品的核心元件,是整个信息产业的发展基石。随着半导体器件变得越来越小,半导体工艺从28nm走向7nm、5nm及更先进等级后,先进的制程对杂质的敏感度更高,小尺寸污染物的高效清洗将更困难，对超纯水的电导性、离子含量、TOC等要求越来越严，这意味着超纯水的制备工艺将更重要、更富挑战性。

2.项目信息

项目地点：广东省珠海市     应用场景：企业中水回用系统

进水水质：生产废水         产水用途：工艺用水